QR系列區(qū)熔單晶硅爐
■ 高穩(wěn)定性的上下軸傳動機(jī)構(gòu)
■ 高可靠性的上 下軸密封機(jī)構(gòu)
■ 高穩(wěn)定性的高頻振蕩電源
產(chǎn)品描述
QR系列區(qū)熔爐是我公司自主開發(fā)的專用于拉制區(qū)熔單晶硅棒的設(shè)備,是- -種綜合了機(jī)械、電力、電子、真空等多個專業(yè)的具有高技術(shù)含量的自動化設(shè)備。我公司已申請并授權(quán)了二項(xiàng)發(fā)明專利,十二
項(xiàng)實(shí)用新型專利。該設(shè)備能夠完全替代進(jìn)口區(qū)熔爐設(shè)備。
QR系列區(qū)熔爐的操作自動化程度高、檢測功能完善、保護(hù)功能齊全,參數(shù)調(diào)整靈活簡便,能最大限度的滿足各種拉晶工藝的調(diào)整。
QR系列區(qū)熔爐能夠拉制單晶直徑為2英寸~8英寸,最大拉單晶長度為1000mm^ 2200mm (等徑部分),并可進(jìn)行本征、氣摻區(qū)熔單晶的拉制。
關(guān)鍵詞:
拉制
單晶硅
最大
8英寸
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